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尼康将研制3D半导体的光刻机,到2026年销量翻番

标签: 其他
分类:行业动态 时间:2022-08-29 阅读量:266

8月25日消息,据日经新闻24日报道,尼康计划将2025财年(截至2026年3月)半导体光刻机主要型号的年销售额提高至2019-2021财年(截至2022年)。  3 月)3 年平均销量的 2 倍以上。 尼康计划在2023年推出支持3D半导体的新产品。

光刻机

众所周知,光刻机是半导体制造的关键设备。 但在半导体光刻机市场,荷兰ASML独领风骚,占据了大部分市场。 据统计,2020年全球半导体光刻机总销量约413台,销售额约130亿美元,其中用于晶圆制造的产品基本为ASML、尼康和佳能的产品。 销量方面,ASML销量为258台,占比62%(其中EUV光刻机出货量达到31台,销量方面,ASML份额高达近90%),佳能销量 为 122 台,占比 30%,尼康售出 33 台,占比 8%。 可以说,尼康已经越来越被边缘化了。  

为了提高市场占有率,尼康计划在2023年推出一款以化合物“氟化氩(ArF)”为光源,支持3DIC“ArF浸没式光刻机”的新产品,可适应 对 3D 堆叠结构 3D NAND 芯片等器件、图像传感器的制造要求。 并希望到 2025 年将 ArF 光刻机的销量翻一番。目前,该公司平均每年销售 16 台 ArF 光刻机(包括二手翻新机)。


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